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MOONS’(鸣志)MSST10-Q在扩散炉\PECVD上的应用

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本设备主要用于晶体硅太阳能电池制造中硅片的扩散掺杂。扩散是半导体工艺生产中的一种关键工艺,通过扩散所形成的PN结,就是晶体硅太阳能电池的核心。

MSST10-Q-RN、23HS3002-29、STM23S-3RE、23HS3811-04

热扩散炉用2个MSST10-Q-RN、2个23HS3002-29;

(PECVD用1个STM23S-3RE、1个MSST10-Q-RN、1个23HS3811-04)

步进电机用于驱动图中四个黑框里的模块上下、前后移动,一个电机装在模块上,通过变速箱 丝杠带动模块做上下运动,一个电机通过皮带 滚珠丝杠带动模块水平运动。

设备中共有四个工控机,每个工控机控制两个驱动器(一个模块)。

目的是送料进入炉中,或从炉中取料出来。

动作,低速往复运动,运行10分钟,静止1小时。

主机编程控制,实现全数字化控制,抗干扰能力强。