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KSZY-D16扩散炉专用恒温槽

KSZY-D16扩散炉专用恒温槽5大特点如下:

◆采用高精度动态恒温控制技术和SMT装配技术,最佳恒温波动度达±0.05℃,专门为半导体扩散炉配套。 ◆ 提供单个源瓶、两个源瓶、和四个源瓶的结构形式,适合不同的应用需求。 ◆ 将源瓶与水介质彻底隔离的铁氟龙隔离套,将任何泄漏事故引起的危险降低到最低程度。 ◆ 采用全封闭磁力泵循环搅拌,温场均匀,绝无泄漏。通过将传感器与循环泵液流的一体化设计,大大提高控温精度和温场均匀性。 ◆ 液槽内胆、瓶源隔离套、电热器和蒸发器等可能与工作介质接触的部件采用不锈钢材料,其中瓶源隔离套内壁经铁氟龙处理,专门解决扩散炉应用问题。 

 

 

 

KSZY-D16扩散炉专用恒温槽技术参数:

 

型号

Kszy-S12 Kszy -S16

Kszy-D10 Kszy-D12Kszy-D16

Kszy -T10 Kszy -T12

温度范围(℃)

+5~60(环境温度≤40℃)、+15~+40(环境温度≤60℃)

温度波动(±K)

±0.05~0.1(环境温度≤40℃)、±0.1~0.2(环境温度≤60℃)

显示分辨(℃)

0.1

加热功率(W)

600

600

600/1000

制冷量(W)

250

300

350

内胆尺寸(mm)

240*145D*220H(-S12) 235*160D*250H(-S16)

240W*120D*195H(-D10) 240W*145D*220H(-D12)335W*160D*250H(-D16)

240W*240D*195H(-Q10) 240W*285D*220H(-Q12)

源瓶尺寸(mm)

100D*148H(-X10) 120D*168H(-X12) 160D*198H(-X16)

源瓶隔离套

1个/不锈钢,内壁防腐处理

2个/不锈钢,内壁防腐处理

4个/不锈钢,内壁防腐处理

外形尺寸(mm)

300W*475D*300H(-S12) 300W*475D*320H(-S16)

300W*450D*275H(-D10) 345W*475D*300H(-D12)375W*475D*320H(-D16)

375W*570D*300H(-Q10)345W*615D*300H(-Q12)

压缩机(W)

150

制冷剂

R134 a

内胆材料

304不锈钢,提供316L不锈钢或钛材的定制

外壳材料

优质冷轧钢板静电喷涂

工作方式

连续

辅助功能

数显温度校正,传感器异常保护和报警,高温保护和低温报警,停电恢复,防干烧

电源

220V/50Hz

 

 

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